K7L-AT50漏液检测带有高度的抗化学品腐蚀能力。K7L能用于从半导体生产设施到食品加工设备的很多种应用中。
电极间电阻检测方式
从50MΩ电阻液体到普通水都能稳定检测。
可设定4级检测范围,能够根据液体特性检测。
防爆隔离栅(另售)
漏液位置检测器在危险环境中也能够使用、具有小型防爆隔离栅,已形成产品系列。
交流检测方式
采用交流方式向检测带供给信号,安全不触电。
干扰消除回路(PAT)
使用了3芯电缆的干扰消除回路具有出色的抗干扰性,可稳定检测漏液。
多通道使用
电源回路与检测回路的绝缘,在同一位置可安装多个传感器。
检测半导体生产设施的结露和漏液
可以检测清洗设备内部的结露和周围的漏液。
有的抗化学腐蚀性的检测带
电极采用SUS316,绝缘包层采用聚乙烯。提高了耐酸碱性等。
检测液体化学品存储罐的管接头处的漏液
可将检测带缠绕在管接头处等有可能漏液的部位上检测漏液。
CMP仪器中量筒的液体泄漏检测
能检测泄漏到排水盘中的液体,从而预防装置损坏及晶片的清洗不良。
检测电镀设备的清洗液的液位
检测清洗槽内的纯水水位。
利用高灵敏度的高精度控制防止清洗不良。
注:在防爆区域中如果一个水槽上使用2个以上的K7L,请务必将水槽接地。